صمامات فراشة الفراغ الهوائي
صمامات الفراشة الهوائية من نوع DELCO مصممة خصيصا للحفاظ على إحكام الإغلاق تحت الضغط السلبي. تمنع هذه الصمامات التي تعمل بالهواء تسرب الهواء إلى النظام, ضمان الأداء الموثوق في عمليات التجفيف والطلاء بالفراغ.
صمام فراشة فراغ هوائي: الضخ السريع & عزل عالي الفراغ
تم تصميمه لأدوات تصنيع أشباه الموصلات, أنظمة الطلاء بالتفريغ (PVD/CVD), مجففات التجميد الصناعية, وأفران المعالجة الحرارية بالتفريغ, ديلكو صمام الفراشة الهوائي توفر سلسلة الفراغ عزلا موثوقا عبر طيف الفراغ من الضغط الخشن إلى الفراغ العالي (1.3 × 10-5 با/10-7 mbar). باستخدام مقاعد O ذات حلقات فلور إيلاستومر منخفضة الغازات, هياكل الفولاذ المقاوم للصدأ بحجم 304/316L بتشطيب مرآة, والتشغيل الهوائي تحت الثانية, تمنع هذه الصمامات دخول الغلاف الجوي وتضمن دورة الحجرة خالية من الجسيمات.
المزايا التقنية: الختم عالي التفريغ & الأتمتة السريعة
تضمن الأخاديد الدقيقة ذات الحلقة الخشبية المزدوجة ووجوه ختم الأقراص الدقيقة أداء محكم التسرب من الضغط الجوي الإيجابي حتى 1.3 × 10-5 با.
فيتون عالي الجودة (FKM) واختياري بيرفلوروإيلاستومر (FFKM) يتم إزالة الغازات من الأختام بالتفريغ وبعد الخبز, تقليل الغازات الهيدروكربونية وتلوث الغرف.
تعمل المشغلات الهوائية أحادية المفعول مباشرة في أقل من 300 مللي ثانية عند انقطاع الهواء أو الطاقة, عزل غرفة العملية عالية الفراغ فورا عن تدفق الزيت إلى الوراء.
يتميز الساق الدوار بحلقتين فيتون O دقة مزدوجة مع منطقة فراغ وسيطة قابلة للضخ, مما يوقف تماما نفاذ الغاز الجوي على طول محور العمود.
تم تنظيفه عبر إزالة الشحوم بالموجات فوق الصوتية متعددة المراحل, تم تجميعها في الفئة 10,000 بيئات الغرف النظيفة, ومغلفة مرتين في أكياس PE المضادة للكهرباء الساكنة لحماية أدوات أشباه الموصلات عالية النقاء.
يوفر التصميم الهوائي النحيف القرص أقصى قدر من التوصيل في الوضع المفتوح, تقليل كبير من دورات الإخلاء بالضخ إلى الأسفل في الحجرة وزيادة معدل النقل في النظام.
مصفوفة مواصفات صمام الفراشة الفراغي
| البارامتر | ISO-KF السريع | ISO-K / ISO-F كبير التجويف | فراغ CF فائق الارتفاع |
|---|---|---|---|
| نطاق حجم الحافة | KF16, KF25, KF40, KF50 | ISO63, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 | CF35, CF63, CF100, CF150 |
| نطاق التشغيل بالضغط | 1 × 105 حسنا، النتيجة 1.3 × 10-4 با | 1 × 105 حسنا، النتيجة 1.3 × 10-5 با | 1 × 105 حسنا، النتيجة 1.3 × 10-6 با |
| بناء الهيكل | سبيكة AISI 304 من الفولاذ المقاوم للصدأ / الألمنيوم | AISI 304 / 316L من الفولاذ المقاوم للصدأ | AISI 316L مزور (مصقول كهربائي) |
| مواد ختم الأقراص | فيتون بدرجة فراغ (FKM) | فيتون (FKM) / السيليكون | FFKM منخفض الغازات (كالريث) |
| معدل تسرب الهيليوم | < 1.0 × 10-9 Pa·m³/s | < 1.0 × 10-9 Pa·m³/s | < 1.0 × 10-10 Pa·m³/s |
| درجة حرارة الخبز | حتى 120°C (مفصولة المحرك) | حتى 150°C (مفصولة المحرك) | حتى 200°C (مفصولة المحرك) |
| التشغيل الهوائي | مزدوج المفعول (DA) أو عودة الربيع ذات الفصل الواحد (إغلاق SR بفشل-مغلق); الهواء النشط 0.4 – 0.6 ميغاباسكال | ||
| تغذية راجعة موقع الفراغ | مفاتيح ريش مغناطيسية متوافقة مع غرفة تنظيف أو حساسات قرب حثية بدون تلامس (PNP/NPN) | ||
الأسئلة الشائعة: صمامات الفراشة الفراغية
س1: لماذا تستخدم صمامات الفراشة بدلا من صمامات البوابة في الخطوط الأمامية التفريغية?
بينما لا توفر صمامات البوابة التفريغية أي عوائق, إنها مكلفة, ثقيل, ولديهما مسافة سفر طويلة. تتميز صمامات الفراشات الفراغية بملف رفيع جدا, انخفاض الحجم الداخلي, وتدور في أقل من 0.3 ثانية بتكلفة أقل بجزء بسيط من التكلفة, مما يجعلها الخيار الهندسي الأفضل لخطوط المضخات الخشنة وخطوط التجاوز السريعة.
س2: كيف يحقق الصمام معدل تسرب هيليوم أقل من 10-9 Pa·m³/s?
يتطلب تحقيق إحكام فراغ عالي التحكم المعدني الصارم. تستخدم ديلكو هياكل مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 304/316L الخالية من المسامية المجهرية, أخاديد تثبيت حلقة O شبه منحرف دقيقة تلغي الفراغات الدقيقة, وأختام فلورو إيلاستومر مزودة بالفراغ مع تشطيبات سطحية فائقة الدقة.
س3: ما هي الحماية الآمنة التي تحدث إذا انقطع الكهرباء أو هواء الورشة?
عودة الربيع ذات الفصل الواحد (SR) المشغلات هي المعيار لعزل الأمان بالتفريغ. إذا فشل الهواء المضغوط أو حدث انقطاع كهربائي, النوابض الميكانيكية الداخلية تربط الصمام فورا بوضعية الإغلاق في < 00.2 ثانية, منع تدفق زيت المضخة الميكانيكي أو تهوية الغلاف الجوي إلى غرفة التفريغ.
س4: هل يمكن خبز هذه الصمامات الفراشة المفتوحة أثناء إزالة الغازات في الحجرة?
نعم. يمكن لجسم الصمام المصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ وأختام Viton تحمل درجات حرارة تفريغ النظام حتى 150°C (حتى 200°C عند تجهيز أختام FFKM). يتم تركيب المشغل الهوائي بمداخل فاصل فاصلة حرارية للفصل الحراري, أو يمكن فكه بسرعة عبر واجهة ISO 5211 خلال دورات الخبز في الحجرة عالية الحرارة.
الإمداد المباشر من المصنع: صمامات الفراشة الهوائية عالية الفراغ
صمامات فراشة مفرغة من الفولاذ المقاوم للصدأ الدقيقة مع KF, ISO, وحواف CF. اختبار تسرب مطياف كتلة الهيليوم بنسبة 100٪, تم تجميعها في ظروف غرفة نظيفة, ومجهزة مسبقا بمشغلات هوائية سريعة المفعول لتكامل غرفة التفريغ العالي.