Injap Rama-rama Vakum Pneumatik
Injap Rama-rama Vakum Pneumatik DELCO direka khas untuk mengekalkan kedap ketat di bawah tekanan negatif. Injap yang digerakkan udara ini menghalang kebocoran udara ke dalam sistem, memastikan prestasi yang boleh dipercayai dalam proses pengeringan vakum dan salutan.
Injap Rama-rama Vakum Pneumatik: Pam Pantas & Pengasingan Vakum Tinggi
Direka untuk alat pembuatan semikonduktor, sistem salutan vakum (PVD/CVD), pengering beku industri, dan relau rawatan haba vakum, Delco injap rama-rama pneumatik siri vakum memberikan pengasingan yang boleh dipercayai merentasi spektrum vakum dari tekanan kasar hingga vakum tinggi (1.3 × 10-5 PA / 10-7 mbar). Menggunakan tempat duduk O-ring fluoroelastomer low-outgassing khusus, badan keluli tahan karat 304/316L berlapis cermin, dan pengaktifan pneumatik sub-saat, Injap-injap ini menghalang kemasukan atmosfera dan memastikan kitaran ruang bebas zarah.
Merit Teknikal: Pengedap Vakum Tinggi & Automasi Pantas
Alur dovetail O-ring yang tepat dan muka pengedap cakera mikro-mesin memastikan prestasi kedap bocor dari tekanan atmosfera positif sehingga 1.3 × 10-5 Pa.
Viton gred tinggi (FKM) dan perfluoroelastomer pilihan (FFKM) Meterai didegaskan dengan vakum dan selepas dibakar, Meminimumkan penghasilan gas hidrokarbon dan pencemaran ruang.
Penggerak pneumatik bertindak tunggal secara langsung akan dicetuskan dalam masa kurang daripada 300 milisaat apabila gangguan udara atau kuasa, segera mengasingkan ruang proses vakum tinggi daripada aliran balik minyak.
Batang berputar mempunyai cincin O Viton berketepatan berganda dengan zon penimbal vakum yang boleh dipam di peringkat pertengahan, menghentikan sepenuhnya penyerapan gas atmosfera sepanjang paksi poros.
Dibersihkan melalui gresing ultrasonik berbilang peringkat, dikumpulkan dalam Kelas 10,000 persekitaran bilik bersih, dan dimeterai berganda dalam beg PE anti-statik untuk melindungi alat semikonduktor berketulenan tinggi.
Reka bentuk cakera aerodinamik yang nipis memberikan konduktans maksimum dalam posisi terbuka, mengurangkan kitaran pemindahan pam ke bawah ruang secara drastik dan meningkatkan kadar pengeluaran sistem.
Spesifikasi Injap Rama-rama Vakum Matriks
| Parameter | ISO-KF Flange Pantas | ISO-K / ISO-F Lubang Besar | CF Vakum Ultra-Tinggi |
|---|---|---|---|
| Julat Saiz Flange | KF16, KF25, KF40, KF50 | ISO63, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 | CF35, CF63, CF100, CF150 |
| Julat Operasi Tekanan | 1 × 105 Baiklah, ia 1.3 × 10-4 Pa | 1 × 105 Baiklah, ia 1.3 × 10-5 Pa | 1 × 105 Baiklah, ia 1.3 × 10-6 Pa |
| Pembinaan badan | AISI 304 Aloi Tahan Karat / Aluminium | Keluli Tahan Karat AISI 304 / 316L | AISI 316L yang dipalsukan (digilap secara elektro) |
| Bahan Penutup Cakera | Viton Gred Vakum (FKM) | Viton (FKM) / Silikon | FFKM Pengeluaran Rendah (Kalrez) |
| Kadar Kebocoran Helium | < 1.0 × 10-9 Pa·m³/s | < 1.0 × 10-9 Pa·m³/s | < 1.0 × 10-10 Pa·m³/s |
| Suhu Bakeout | Sehingga 120°C (Penggerak dilepaskan) | Sehingga 150°C (Penggerak dilepaskan) | Sehingga 200°C (Penggerak dilepaskan) |
| Pengaktifan Pneumatik | lakonan berganda (DA) atau Single-Acting Spring-Return (SR Fail-Closed); Actuation Air 0.4 – 0.6 MPa | ||
| Maklum Balas Kedudukan Vakum | Suis reed magnetik yang serasi dengan bilik bersih atau sensor jarak induktif tanpa sentuhan (PNP/NPN) | ||
Soalan Lazim: Injap Rama-rama Vakum
S1: Mengapa injap rama-rama digunakan sebagai ganti injap pintu pada garis depan vakum?
Manakala injap pintu vakum tidak menawarkan sebarang halangan, Ia mahal, berat, dan mempunyai perjalanan strok yang panjang. Injap rama-rama vakum mempunyai profil ultra-nipis, isipadu dalaman rendah, dan berkitar dalam masa kurang daripada 0.3 saat dengan kos yang jauh lebih rendah, menjadikannya pilihan kejuruteraan unggul untuk paip pam kasar dan saluran pintasan pantas.
S2: Bagaimana injap mencapai kadar kebocoran helium di bawah 10-9 Pa·m³/s?
Untuk mencapai kedap vakum yang tinggi memerlukan kawalan metalurgi yang ketat. Delco menggunakan badan keluli tahan karat tempa 304/316L yang bebas daripada porositi tuangan mikroskopik, Alur penahan O-ring trapezoid yang diproses dengan tepat untuk menghilangkan mikro-rongga, dan meterai fluoroelastomer yang didegas vakum dengan kemasan permukaan sentuhan ultra-halus.
S3: Apakah perlindungan keselamatan gagal yang berlaku jika kuasa elektrik atau udara bengkel terputus?
Spring-Return bertindak tunggal (SR) Penggerak adalah standard untuk pengasingan keselamatan vakum. Jika udara termampat gagal atau berlaku trip elektrik, spring mekanikal dalaman serta-merta membetulkan injap ke posisi tertutup dalam < 0.2 saat, menghalang aliran balik minyak pam mekanikal atau pengudaraan atmosfera ke dalam ruang vakum.
S4: Bolehkah injap rama-rama vakum ini dibakar semasa penyahgasan ruang?
Ya. Badan injap keluli tahan karat dan meterai Viton boleh menahan suhu bakeout sistem sehingga 150°C (sehingga 200°C apabila dilengkapi dengan meterai FFKM). Penggerak pneumatik dipasang dengan standoff pemisahan terma, atau boleh dibuka dengan cepat melalui antara muka ISO 5211 semasa kitaran pembakaran ruang suhu tinggi.
Bekalan Kilang Langsung: Injap Rama-rama Pneumatik Vakum Tinggi
Injap rama-rama vakum keluli tahan karat yang tepat dengan KF, ISO, dan flens CF. 100% ujian kebocoran spektrometer jisim helium, dipasang dalam keadaan bilik bersih, dan dilengkapi dengan penggerak pneumatik bertindak pantas untuk integrasi ruang vakum tinggi.