Пневматические вакуумные заслонки-бабочки
Клапаны DELCO Pneumatic Vacuum Butterfly специально разработаны для поддержания герметичности при отрицательном давлении. Эти воздушные клапаны предотвращают утечку воздуха в систему, обеспечивая надёжную работу в вакуумной сушке и процессах покрытия.
-
Пневматический вакуумный бабочочный клапан для надёжного управления вакуумной системой | DELCO VALVE
Пневматический вакуумный дроссельный клапан: Быстрое откачивание & Изоляция высокого вакуума
Разработан для производства полупроводниковых инструментов, Вакуумные системы покрытия (PVD/CVD), Промышленные лиофилы, и вакуумные тепловые печи, Delco Пневматический заслонок с бабочкой Вакуумная серия обеспечивает надёжную изоляцию по всему вакуумному спектру — от грубого давления до высокого вакуума (1.3 × 10-5 PA / 10-7 mbar). Использование специализированных кресел с низким уровнем выделения фторэластомера, Корпуса из нержавеющей стали 304/316L с зеркальной отделкой, и пневматическое срабатывание субсекундной, Эти клапаны предотвращают проникновение в атмосферу и обеспечивают цикличный цикл камеры без частиц.
Технические достоинства: Высоковакуумная герметизация & Быстрая автоматизация
Точные канавки уплотнительного кольца и микрообработанные уплотнения дисков обеспечивают герметичную работу при положительном атмосферном давлении до 1,3 × 10-5 Па.
Высококлассный Витон (FKM) и опциональный перфторэластомер (FFKM) Тюлени вакуумно дегазируют и выпекают после выпекания, минимизация выбросов углеводородов и загрязнения камер.
Прямые однодействующие пневматические приводы срабатывают менее чем за 300 миллисекунд при отключении воздуха или питания, мгновенно изолируя камеру высоковакуумного процесса от обратного потока масла.
Роторный стержень оснащён двойным точным уплотнителем Viton с промежуточной вакуумной буферной зоной, полностью прекращая проникновение газов в атмосферу вдоль оси шахты.
Очистка проходила с помощью многоступенчатого ультразвукового обезжиривания, собран в класс 10,000 Чистые помещения, а также двойной герметизацией в антистатичные ПЭ-пакеты для защиты полупроводниковых инструментов высокой чистоты.
Тонкая аэродинамическая конструкция диска обеспечивает максимальную проводимость в открытом положении, резко сокращает циклы откачки насоса в камере и увеличивает пропускную способность системы.
Матрица технических характеристик вакуумного заслонка
| Параметр | ISO-KF Quick Flange | ISO-K / ISO-F Большой диаметр цилиндра | Ультравысокий вакуум CF |
|---|---|---|---|
| Диапазон размеров фланцев | KF16, KF25, KF40, KF50 | ISO63, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 | CF35, CF63, CF100, CF150 |
| Рабочий диапазон давления | 1 × 105 Ну, это 1,3 × 10-4 Па | 1 × 105 Ну, это 1,3 × 10-5 Па | 1 × 105 Ну, это 1,3 × 10-6 Па |
| Конструкция кузова | AISI 304 Нержавеющая / алюминиевая смесь | AISI 304 / 316L нержавеющая сталь | Кованный AISI 316L (Электрополировка) |
| Материал для герметизации дисков | Вакуумный Viton (FKM) | Витон (FKM) / Силикон | FFKM с низким выбросом газов (Калрез) |
| Скорость утечки гелия | < 1.0 × 10-9 Па·м³/с | < 1.0 × 10-9 Па·м³/с | < 1.0 × 10-10 Па·м³/с |
| Температура выпечки | Температура до 120°C (Актуатор отсоединён) | Температура до 150°C (Актуатор отсоединён) | Температура до 200°C (Актуатор отсоединён) |
| Пневматическое привод | Двойного действия (DA) или однодействующий пружинный возврат (SR Fail-Closed); Привод воздуха 0,4 – 0,6 МПа | ||
| Обратная связь положения в вакууме | Совместимые с чистой комнатой магнитные ридовые переключатели или бесконтактные индуктивные датчики близости (PNP/NPN) | ||
Часто задаваемые вопросы: Вакуумные бабочковые клапаны
Q1: Почему вместо клапанов на вакуумных форлайнах используют бабочки??
Вакуумные клапаны не обеспечивают никаких препятствий, Они дорогие, тяжёлый, и имеют длинный ход ходов. Вакуумные заслонки-бабочки имеют ультратонкий профиль, низкая внутренняя громкость, и цикл занимает меньше 0,3 секунды за долю стоимости, Делая их превосходным инженерным выбором для грубых насосных линий и быстрых обходных линий.
Q2: Как клапан достигает уровня утечки гелия ниже 10?-9 Па·м³/с?
Для достижения высокой герметичности вакуума требуется строгий металлургический контроль. Delco использует кованые корпуса из нержавеющей стали 304/316L без микроскопической пористости литья, прецизионно обработанные трапециевидные уплотнительнообразные уплотнительные канавки, устраняющие микропустоты, а также вакуумно-дегазированные фторэластомерные уплотнения с ультратонкими контактными поверхностями.
Вопрос 3: Какая аварийная защита возникает, если отключается электропитание или воздух в мастерской.?
Однодействующий Spring-Return (SR) Актуаторы являются стандартом для вакуумной безопасной изоляции. Если сжатый воздух выходит из строя или происходит электрический отключение, внутренние механические пружины немедленно защёлкивают клапан в закрытое положение в < 00,2 секунды, что предотвращает обратную поток масла с насоса или атмосферный отход в вакуумную камеру.
Q4: Можно ли выпекать эти вакуумные заслонки-бабочки во время дегазации в камере?
Да. Корпус клапанов из нержавеющей стали и уплотнения Viton выдерживают температуры выпечки системы до 150°C (до 200°C при установке уплотнений FFKM). Пневматический привод установлен с термической разъединкой, или может быть быстро отсоединён через интерфейс ISO 5211 во время циклов выпечки камеры при высоких температурах.
Прямое снабжение с завода: Высоковакуумные пневматические заслонки-бабочки
Прецизионные вакуумные заслонки из нержавеющей стали с KF, ИСО, и CF-фланцы. Тест на утечку масс-спектрометра 100% гелий, Сборка в условиях чистого помещения, а также предварительно оснащён быстродействующими пневматическими приводами для интеграции камеры высокого вакуума.