Pneumatyczne zawory motylkowe próżniowe
Pneumatyczne zawory motylkowe DELCO są specjalnie zaprojektowane, aby utrzymać szczelność przy podciśnieniu. Te zawory napędzane powietrzem zapobiegają przeciekowi powietrza do systemu, zapewnienie niezawodnej wydajności w suszeniu próżniowym i procesach powlekania.
Pneumatyczny próżniowy zawór motylkowy: Szybkie Pompowanie & Izolacja w wysokiej próżni
Zaprojektowane do produkcji półprzewodników, Systemy powłok próżniowych (PVD/CVD), Przemysłowe liofilizatory, oraz piece do obróbki cieplnej próżniowej, Delco Pneumatyczny zawór motylkowy Seria próżniowa zapewnia niezawodną izolację w całym spektrum próżniowym – od ciśnienia zgrubienia do wysokiego (1.3 × 10-5 Pa / 10-7 mbar). Wykorzystanie specjalistycznych gniazdek z o-ringami fluoroelastomerowymi o niskiej emisji gazów, Nadwozia ze stali nierdzewnej 304/316L z lustrzanym wykończeniem, oraz pneumatyczne działanie poniżej sekundy, Te zawory zapobiegają przenikaniu do atmosfery i zapewniają cykl komory wolnej od cząstek.
Zalety techniczne: Szczelność próżniowa & Szybka automatyzacja
Precyzyjne rowki O-ring z jaskółczym ogonem oraz mikroobrabiane powierzchnie uszczelniające tarcz zapewniają szczelność od dodatniego ciśnienia atmosferycznego do 1,3 × 10-5 Pa.
Viton wysokiej klasy (FKM) oraz opcjonalnie perfluoroelastomer (FFKM) Uszczelki są odgazowywane próżniowo i wypalane po wypalaniu, minimalizując emisję węglowodorów i zanieczyszczenie komory.
Bezpośrednie, jednoczynne siłowniki pneumatyczne uruchamiają się w mniej niż 300 milisekund przy przerwie w powietrzu lub zasilaniu, natychmiastowa izolacja komory procesowej o wysokiej próżni od cofania się oleju.
Wałek obrotowy posiada podwójne precyzyjne o-ringi Viton oraz pośrednią pompowaną strefę buforową próżniową, całkowite zatrzymanie przenikania gazów atmosferycznych wzdłuż osi wału.
Czyszczone za pomocą wielostopniowego ultradźwiękowego odtłuszczania, zmontowany w klasie 10,000 Środowiska czyste, oraz podwójnie uszczelnione w antystatycznych workach PE, aby chronić narzędzia półprzewodnikowe o wysokiej czystości.
Smukła konstrukcja aerodynamicznej tarczy zapewnia maksymalną przewodność w pozycji otwartej, drastycznie skraca cykle ewakuacji pomp komorowych i zwiększa przepustowość systemu.
Matryca specyfikacji zaworów motylkowych próżniowych
| Parametr | ISO-KF Quick Flange | ISO-K / ISO-F duży kamień | CF Ultra-High Vacuum |
|---|---|---|---|
| Zakres rozmiarów kołnierzy | KF16, KF25, KF40, KF50 | ISO63, ISO100, ISO160, ISO200, ISO250 | CF35, CF63, CF100, CF150 |
| Zakres pracy ciśnienia | 1 × 105 No cóż, to 1,3 × 10-4 Pa | 1 × 105 No cóż, to 1,3 × 10-5 Pa | 1 × 105 No cóż, to 1,3 × 10-6 Pa |
| Konstrukcja nadwozia | AISI 304 Stop ze stali nierdzewnej / aluminium | AISI 304 / 316L Stal nierdzewna | Podrobiony AISI 316L (Polerowanie elektromagnetyczne) |
| Materiał uszczelniający tarcze | Viton klasy próżniowej (FKM) | Viton (FKM) / Silikon | FFKM o niskim wydzielaniu gazów (Kalrez) |
| Szybkość wycieku helu | < 1.0 × 10-9 Pa·m³/s | < 1.0 × 10-9 Pa·m³/s | < 1.0 × 10-10 Pa·m³/s |
| Temperatura pieczenia | Do 120°C (Siłownik odłączony) | Do 150°C (Siłownik odłączony) | Do 200°C (Siłownik odłączony) |
| Napęd pneumatyczny | Podwójne aktorstwo (DA) lub jednoczynny mechanizm sprężynowy (SR Fail-Closed); Powietrze aktywacyjne 0,4 – 0,6 MPa | ||
| Sprzężenie zwrotne położenia próżni | Magnetyczne przełączacze harmonijkowe kompatybilne z pomieszczeniami czystymi lub bezstykowe czujniki indukcyjne zbliżeniowe (PNP/NPN) | ||
Najczęściej zadawane pytania: Zawory motylkowe próżniowe
P1: Dlaczego na frontach próżniowych stosuje się zawory motylkowe zamiast zaworów zaworowych?
Podczas gdy zawory poślizgowe nie stanowią żadnej przeszkody, są drogie, ciężki, oraz mają długi skok ruchu. Zawory motylkowe próżniowe mają ultracienki profil, Niska wewnętrzna objętość, i przebiegają w czasie poniżej 0,3 sekundy przy ułamku kosztów, co czyni je lepszym wyborem inżynieryjnym do zgrubiania linii pomp i szybkich linii obejścia.
P2: Jak zawór osiąga wskaźnik wycieku helu poniżej 10-9 Pa·m³/s?
Osiągnięcie wysokiej szczelności podciśnieniowej wymaga ścisłej kontroli metalurgicznej. Delco wykorzystuje kute korpusy ze stali nierdzewnej 304/316L, wolne od mikroskopijnej porowatości odlewów, precyzyjnie obrabiane trapezowe rowki O-ring zabezpieczające eliminujące mikropustki, oraz uszczelniacze fluoroelastomerowe odgazowane próżniowo z ultra-drobnymi wykończeniami powierzchni styku.
P3: Jaka ochrona awaryjna pojawia się, gdy zostanie odcięty prąd elektryczny lub powietrze warsztatowe?
Jednoczynny Spring-Return (SR) Siłowniki są standardem w izolacji bezpieczeństwa podciśnieniowego. Jeśli zabraknie sprężonego powietrza lub wystąpi wyzjanie elektryczne, wewnętrzne sprężyny mechaniczne natychmiast zatrzaskują zawór w pozycji zamkniętej w < 00,2 sekundy, Zapobieganie cofaniu się mechanicznego oleju pompy lub odpowietrzaniu atmosferycznego do komory próżniowej.
P4: Czy te próżniowe zawory motylkowe mogą być wypalone podczas odgazowywania w komorze??
Tak. Korpus zaworu ze stali nierdzewnej oraz uszczelki Viton wytrzymują temperatury wypalania systemu do 150°C (do 200°C przy wyposażeniu w uszczelki FFKM). Siłownik pneumatyczny jest zamontowany z termoodłącznymi odłącznikami, lub może być szybko odkręcana przez interfejs ISO 5211 podczas cykli wypalania komory w wysokiej temperaturze.
Bezpośrednie dostawy fabryczne: Pneumatyczne zawory motylkowe o wysokiej próżni
Precyzyjne próżniowe zawory motylkowe ze stali nierdzewnej z KF, ISO, oraz kołnierze CF. Testy nieszczelności spektrometru masowego helu na 100%, Składany w warunkach czystego pomieszczenia, oraz wyposażony w szybko działające siłowniki pneumatyczne do integracji komory wysokiej próżni.